Weiden Electronics поставляет высокоточную полностью автоматизированную линию по производству травления, позволяющую добиться прорыва в точности массового производства до ±0,02 нм.
Компания Changzhou Weiden Electronic Equipment Co., Ltd. (далее — Weiden Electronics) в июне 2024 года официально поставила высокоточную полностью автоматизированную линию травления в один из научно-исследовательских институтов, входящих в структуру AVIC. Данная производственная линия будет применяться при изготовлении лопаток турбин двигателей истребителей нового поколения и направлена на устранение узкого места, связанного с обработкой микроскопических отверстий в жаропрочных сплавах.
Ключевым элементом линии является самостоятельно разработанная Weiden многоосевая прецизионная камера травления. Благодаря системе субмикронного управления давлением распыла и алгоритмам визуальной компенсации обеспечивается стабильный допуск травления в пределах ±0,02 нм, что означает повышение точности на 300% по сравнению с традиционным оборудованием. Линия также оснащена модулем нулевого сброса для отходящих газов и сточных вод: кислые выхлопные газы проходят двухступенчатую щёлочную распылительную очистку и адсорбционную очистку на активированном угле, при этом концентрация выбросов снижается до уровня ниже 1 мг/м³. Никельсодержащие сточные воды обрабатываются с использованием мембранного разделения и электролитической технологии извлечения, что обеспечивает 99% извлечение тяжёлых металлов и уровень повторного использования воды свыше 90%, полностью соответствуя специальным предельным требованиям стандарта GB31573-2015 «Стандарты выбросов загрязняющих веществ для неорганической химической промышленности».
«Эта производственная линия впервые реализует бесшовную интеграцию процессов травления с шестиосевыми промышленными роботами», — отметил технический директор Weiden Electronics в ходе приёмочных испытаний. «Автоматизированный захват роботами в сочетании с 3D-лазерным сканированием и позиционированием повышает эффективность обработки сложных криволинейных деталей на 50% и одновременно снижает долю ручного вмешательства на 80%». По прогнозам, ежегодный экономический эффект составит около 2 млн юаней за счёт сокращения затрат на утилизацию опасных отходов, а объём сброса сточных вод уменьшится на 15 000 тонн в год.
В рамках этого 18-месячного проекта команда Weiden преодолела такие технические сложности, как контроль трещинообразования под напряжением в жаропрочных сплавах и достижение соотношения глубины микропор к диаметру 1:20, что позволило получить два патента на полезные модели. Реализация проекта знаменует собой официальный выход отечественного высококлассного оборудования для травления в ключевую цепочку поставок аэрокосмического производства и закладывает технологическую основу для дальнейшего применения в авиационных двигателях и фотолитографических масках для полупроводников.