Вейден Электроника поставила высокоточную полностью автоматизированную линию травления, обеспечивающ

Компания Changzhou Weiden Electronic Equipment Co., Ltd. (далее именуемая «Weiden Electronics») в июне 2024 года официально передала научно-исследовательскому институту, входящему в состав AVIC, высокоточную полностью автоматизированную линию для травления. Эта линия будет применяться для производства лопаток турбин для двигателей истребителей следующего поколения, решая проблему узкого места в обработке микроотверстий в высокотемпературных сплавах.
В основе производственной линии лежит разработанная компанией Weiden многоосевая прецизионная камера травления. Благодаря системе контроля давления распыления с субмикронным разрешением и алгоритмам визуальной компенсации достигается стабильная точность травления в пределах ±0,02 нм, что на 300% повышает точность по сравнению с традиционным оборудованием. Также в систему интегрирован модуль нулевого сброса отработанных газов и сточных вод: кислые отработанные газы проходят двухступенчатую щелочную очистку распылением и очистку адсорбцией на активированном угле, достигая концентрации выбросов ниже 1 мг/м³. Для очистки никельсодержащих сточных вод используется мембранная сепарация и электролитическая регенерация, обеспечивающие 99% извлечения тяжелых металлов и более 90% повторного использования воды, что полностью соответствует требованиям стандарта GB31573-2015 «Стандарты выбросов загрязняющих веществ от неорганической химической промышленности».
«Эта производственная линия знаменует собой первую бесшовную интеграцию процессов травления с шестиосевыми роботами», — пояснил технический директор компании Weiden во время приемочной инспекции. «Автоматизированный роботизированный захват в сочетании с 3D-лазерным сканированием повышает эффективность обработки сложных изогнутых деталей на 50%, одновременно сокращая ручное вмешательство на 80%». Прогнозируемая ежегодная экономия включает в себя 2 миллиона юаней на утилизации опасных отходов и сокращение сброса сточных вод на 15 000 тонн.
В ходе этого 18-месячного сотрудничества команда Вайдена преодолела ряд трудностей, включая контроль трещинообразования в высокотемпературных сплавах и достижение соотношения сторон микропор 1:20, получив два патента на полезную модель. Этот проект знаменует собой официальное внедрение высококачественного травильного оборудования отечественного производства в основную цепочку поставок аэрокосмической отрасли, закладывая технологическую основу для будущих применений в авиационных двигателях и полупроводниковых литографических масках.